Table d'indexation XY Thêta : une solution aux micros
câblages en déplacements limités.
• La mission
qui nous a été confiée consistait à pouvoir
réaliser des micros câblages (Bumping) sur des plaquettes
de silicium de diamètre 125 mm, les capacités de
déplacement de la machine ne permettant pas de couvrir
totalement la surface à traiter.
• La solution que
nous avons retenue permet de présenter la pièce à
traiter en continu sans que l'opérateur ait à
déplacer le substrat entre deux séquences de
câblage. Cette solution évite notamment les vibrations
parasites affectant les temps de stabilisation entre les
déplacements.
Pour
ce faire, nous avons été amenés à concevoir
un système de présentation dont le centre de
gravité reste en permanence dans la surface de la table afin
d'éviter les porte à faux et offrir toutes les
capacités requises pour indexer la pièce dans sa
totalité.
Notre
conception s'est basée sur un système de
présentation à trois axes :
• Un axe X,
• Un axe Y,
• Un axe Thêta.
Cette
formule permet de traiter une première moitié du substrat
puis la deuxième grâce à une rotation de la
pièce à 180°.
L'Axe
X est de conception classique (Vis à billes et
glissières) quant à l'axe Y il se compose d'un
moteur linéaire embarqué sur l'axe X.La rotation
est assurée par une table rotative motorisée,
placée sur le dessus.
Le
résultat ainsi obtenu a permis d'atteindre parfaitement
l'objectif assigné.
Cette
expérience nous permet aujourd'hui d'offrir à nos clients
de nouvelles possibilités de test et de présérie
sur des machines existantes. Par ailleurs, nous avons adapté
cette innovation à d'autres applications afin de traiter, avec
ou sans rotation, des substrats dont les tailles dépassent les
capacités des machines utilisées.
